N |
|
B81 |
|
Poznámky
-
Tato třída
zahrnuje
mikrostrukturální zařízení nebo soustavy, zahrnující alespoň jeden nezbytný prvek nebo útvar vyznačený svou velmi malou velikostí, obvykle v rozmezí 10
-4
až 10
-7
metrů, tj. jeho významné znaky nemohou být v alespoň jednom rozměru zcela rozlišeny bez použití optického mikroskopu.
-
V této třídě se následující výrazy používají v uvedeném významu:
-
"mikrostrukturální zařízení" zahrnuje:
-
mikromechanická zařízení zahrnující pohyblivé, pružné nebo deformovatelné prvky; a
-
trojrozměrné struktury bez pohyblivých, pružných nebo deformovatelných prvků, obsahující mikro-útvary navržené tak, aby bylo dosaženo nezbytné strukturní funkce pro interakci s jejich prostředím, oproti čistě elektronickým nebo chemickým funkcím, bez ohledu na to, zda jsou tyto struktury spojeny s mikroelektronickými zařízeními nebo vytvořeny z určitých materiálů;
-
"mikrostrukturální soustavy" zahrnují:
-
soustavy navzájem spolupracujících mikrostrukturálních zařízení; a
-
mikroelektromechanické nebo mikrooptomechanické soustavy, které kombinují na společném substrátu určité znaky mikrostrukturálních zařízení a elektrických nebo optických součástek, např. pro řízení, analýzu nebo signalizaci funkce mikrostrukturálních zařízení.
|