
<pat:PatentPublication xmlns:pat="http://www.wipo.int/standards/XMLSchema/ST96/Patent" xmlns:xsi="http://www.w3.org/2001/XMLSchema-instance" xmlns:com="http://www.wipo.int/standards/XMLSchema/ST96/Common" com:st96Version="V7_0" com:documentFileName="OPENDATAST96_PT_CZ_DIFF_PV2024-360.xml" com:languageCode="cs" xsi:schemaLocation="http://www.wipo.int/standards/XMLSchema/ST96/Patent https://isdv.upv.gov.cz/doc/xsd/ST96/PatentPublication_V7_0.xsd">
 <com:IPOfficeCode>CS</com:IPOfficeCode>
 <pat:BibliographicData com:st96Version="V7_0" com:officeCode="CZ">
  <pat:PatentPublicationIdentification>
   <com:IPOfficeCode>CZ</com:IPOfficeCode>
   <pat:PublicationNumber>310632</pat:PublicationNumber>
   <com:PatentDocumentKindCode>B6</com:PatentDocumentKindCode>
   <com:PublicationDate>2026-02-11</com:PublicationDate>
  </pat:PatentPublicationIdentification>
  <pat:ApplicationIdentification>
   <com:IPOfficeCode>CZ</com:IPOfficeCode>
   <com:ApplicationNumber>
    <com:ApplicationNumberText>2024-360</com:ApplicationNumberText>
   </com:ApplicationNumber>
   <com:FilingLanguageCode>cs</com:FilingLanguageCode>
   <pat:ApplicationFilingCategory>National</pat:ApplicationFilingCategory>
   <pat:FilingDate>2024-09-18</pat:FilingDate>
  </pat:ApplicationIdentification>
  <pat:PriorityClaimBag>
   <pat:PriorityClaim com:sequenceNumber="1">
    <com:IPOfficeCode>CZ</com:IPOfficeCode>
    <pat:FilingDate>2024-09-18</pat:FilingDate>
    <pat:ApplicationFilingCategory>National</pat:ApplicationFilingCategory>
   </pat:PriorityClaim>
  </pat:PriorityClaimBag>
  <pat:PatentClassificationBag>
   <pat:CPCClassificationBag>
    <pat:MainCPC>
     <pat:CPCClassification>
      <pat:ClassificationVersionDate>20240801</pat:ClassificationVersionDate>
      <pat:CPCSection>H</pat:CPCSection>
      <pat:Class>01</pat:Class>
      <pat:Subclass>J</pat:Subclass>
      <pat:MainGroup>37</pat:MainGroup>
      <pat:Subgroup>20</pat:Subgroup>
      <com:SymbolPositionCode>F</com:SymbolPositionCode>
      <pat:CPCClassificationValueCode>I</pat:CPCClassificationValueCode>
      <pat:ActionDate>20250313</pat:ActionDate>
      <pat:GeneratingOfficeCode>CZ</pat:GeneratingOfficeCode>
      <pat:CPCClassificationStatusCode>B</pat:CPCClassificationStatusCode>
      <pat:PatentClassificationDataSourceCode>H</pat:PatentClassificationDataSourceCode>
     </pat:CPCClassification>
    </pat:MainCPC>
    <pat:FurtherCPC>
     <pat:CPCClassification>
      <pat:ClassificationVersionDate>20130101</pat:ClassificationVersionDate>
      <pat:CPCSection>H</pat:CPCSection>
      <pat:Class>01</pat:Class>
      <pat:Subclass>J</pat:Subclass>
      <pat:MainGroup>37</pat:MainGroup>
      <pat:Subgroup>285</pat:Subgroup>
      <com:SymbolPositionCode>L</com:SymbolPositionCode>
      <pat:CPCClassificationValueCode>I</pat:CPCClassificationValueCode>
      <pat:ActionDate>20250313</pat:ActionDate>
      <pat:GeneratingOfficeCode>CZ</pat:GeneratingOfficeCode>
      <pat:CPCClassificationStatusCode>B</pat:CPCClassificationStatusCode>
      <pat:PatentClassificationDataSourceCode>H</pat:PatentClassificationDataSourceCode>
     </pat:CPCClassification>
     <pat:CPCClassification>
      <pat:ClassificationVersionDate>20240801</pat:ClassificationVersionDate>
      <pat:CPCSection>H</pat:CPCSection>
      <pat:Class>01</pat:Class>
      <pat:Subclass>J</pat:Subclass>
      <pat:MainGroup>37</pat:MainGroup>
      <pat:Subgroup>305</pat:Subgroup>
      <com:SymbolPositionCode>L</com:SymbolPositionCode>
      <pat:CPCClassificationValueCode>I</pat:CPCClassificationValueCode>
      <pat:ActionDate>20250313</pat:ActionDate>
      <pat:GeneratingOfficeCode>CZ</pat:GeneratingOfficeCode>
      <pat:CPCClassificationStatusCode>B</pat:CPCClassificationStatusCode>
      <pat:PatentClassificationDataSourceCode>H</pat:PatentClassificationDataSourceCode>
     </pat:CPCClassification>
     <pat:CPCClassification>
      <pat:ClassificationVersionDate>20230801</pat:ClassificationVersionDate>
      <pat:CPCSection>G</pat:CPCSection>
      <pat:Class>06</pat:Class>
      <pat:Subclass>V</pat:Subclass>
      <pat:MainGroup>10</pat:MainGroup>
      <pat:Subgroup>454</pat:Subgroup>
      <com:SymbolPositionCode>L</com:SymbolPositionCode>
      <pat:CPCClassificationValueCode>I</pat:CPCClassificationValueCode>
      <pat:ActionDate>20250313</pat:ActionDate>
      <pat:GeneratingOfficeCode>CZ</pat:GeneratingOfficeCode>
      <pat:CPCClassificationStatusCode>B</pat:CPCClassificationStatusCode>
      <pat:PatentClassificationDataSourceCode>H</pat:PatentClassificationDataSourceCode>
     </pat:CPCClassification>
     <pat:CPCClassification>
      <pat:ClassificationVersionDate>20130101</pat:ClassificationVersionDate>
      <pat:CPCSection>H</pat:CPCSection>
      <pat:Class>01</pat:Class>
      <pat:Subclass>J</pat:Subclass>
      <pat:MainGroup>37</pat:MainGroup>
      <pat:Subgroup>3045</pat:Subgroup>
      <com:SymbolPositionCode>L</com:SymbolPositionCode>
      <pat:CPCClassificationValueCode>I</pat:CPCClassificationValueCode>
      <pat:ActionDate>20251202</pat:ActionDate>
      <pat:GeneratingOfficeCode>EP</pat:GeneratingOfficeCode>
      <pat:CPCClassificationStatusCode>B</pat:CPCClassificationStatusCode>
      <pat:PatentClassificationDataSourceCode>H</pat:PatentClassificationDataSourceCode>
     </pat:CPCClassification>
     <pat:CPCClassification>
      <pat:ClassificationVersionDate>20130101</pat:ClassificationVersionDate>
      <pat:CPCSection>H</pat:CPCSection>
      <pat:Class>01</pat:Class>
      <pat:Subclass>J</pat:Subclass>
      <pat:MainGroup>2237</pat:MainGroup>
      <pat:Subgroup>31745</pat:Subgroup>
      <com:SymbolPositionCode>L</com:SymbolPositionCode>
      <pat:CPCClassificationValueCode>A</pat:CPCClassificationValueCode>
      <pat:ActionDate>20251202</pat:ActionDate>
      <pat:GeneratingOfficeCode>EP</pat:GeneratingOfficeCode>
      <pat:CPCClassificationStatusCode>B</pat:CPCClassificationStatusCode>
      <pat:PatentClassificationDataSourceCode>H</pat:PatentClassificationDataSourceCode>
     </pat:CPCClassification>
     <pat:CPCClassification>
      <pat:ClassificationVersionDate>20130101</pat:ClassificationVersionDate>
      <pat:CPCSection>H</pat:CPCSection>
      <pat:Class>01</pat:Class>
      <pat:Subclass>J</pat:Subclass>
      <pat:MainGroup>2237</pat:MainGroup>
      <pat:Subgroup>31749</pat:Subgroup>
      <com:SymbolPositionCode>L</com:SymbolPositionCode>
      <pat:CPCClassificationValueCode>A</pat:CPCClassificationValueCode>
      <pat:ActionDate>20251202</pat:ActionDate>
      <pat:GeneratingOfficeCode>EP</pat:GeneratingOfficeCode>
      <pat:CPCClassificationStatusCode>B</pat:CPCClassificationStatusCode>
      <pat:PatentClassificationDataSourceCode>H</pat:PatentClassificationDataSourceCode>
     </pat:CPCClassification>
     <pat:CPCClassification>
      <pat:ClassificationVersionDate>20130101</pat:ClassificationVersionDate>
      <pat:CPCSection>H</pat:CPCSection>
      <pat:Class>01</pat:Class>
      <pat:Subclass>J</pat:Subclass>
      <pat:MainGroup>2237</pat:MainGroup>
      <pat:Subgroup>208</pat:Subgroup>
      <com:SymbolPositionCode>L</com:SymbolPositionCode>
      <pat:CPCClassificationValueCode>A</pat:CPCClassificationValueCode>
      <pat:ActionDate>20251202</pat:ActionDate>
      <pat:GeneratingOfficeCode>EP</pat:GeneratingOfficeCode>
      <pat:CPCClassificationStatusCode>B</pat:CPCClassificationStatusCode>
      <pat:PatentClassificationDataSourceCode>H</pat:PatentClassificationDataSourceCode>
     </pat:CPCClassification>
     <pat:CPCClassification>
      <pat:ClassificationVersionDate>20130101</pat:ClassificationVersionDate>
      <pat:CPCSection>H</pat:CPCSection>
      <pat:Class>01</pat:Class>
      <pat:Subclass>J</pat:Subclass>
      <pat:MainGroup>37</pat:MainGroup>
      <pat:Subgroup>222</pat:Subgroup>
      <com:SymbolPositionCode>L</com:SymbolPositionCode>
      <pat:CPCClassificationValueCode>I</pat:CPCClassificationValueCode>
      <pat:ActionDate>20251202</pat:ActionDate>
      <pat:GeneratingOfficeCode>EP</pat:GeneratingOfficeCode>
      <pat:CPCClassificationStatusCode>B</pat:CPCClassificationStatusCode>
      <pat:PatentClassificationDataSourceCode>H</pat:PatentClassificationDataSourceCode>
     </pat:CPCClassification>
    </pat:FurtherCPC>
   </pat:CPCClassificationBag>
   <pat:IPCRClassificationBag>
    <pat:IPCRClassification com:sequenceNumber="1">
     <pat:ClassificationVersionDate>20060101</pat:ClassificationVersionDate>
     <pat:PatentClassificationLevelCode>A</pat:PatentClassificationLevelCode>
     <com:SymbolPositionCode>F</com:SymbolPositionCode>
     <pat:IPCClassificationValueCode>I</pat:IPCClassificationValueCode>
     <pat:ActionDate>20250313</pat:ActionDate>
     <pat:IPCClassificationStatusCode>B</pat:IPCClassificationStatusCode>
     <pat:PatentClassificationDataSourceCode>H</pat:PatentClassificationDataSourceCode>
     <pat:GeneratingOfficeCode>CZ</pat:GeneratingOfficeCode>
     <pat:Section>H</pat:Section>
     <pat:Class>01</pat:Class>
     <pat:Subclass>J</pat:Subclass>
     <pat:MainGroup>37</pat:MainGroup>
     <pat:Subgroup>20</pat:Subgroup>
    </pat:IPCRClassification>
    <pat:IPCRClassification com:sequenceNumber="2">
     <pat:ClassificationVersionDate>20060101</pat:ClassificationVersionDate>
     <pat:PatentClassificationLevelCode>A</pat:PatentClassificationLevelCode>
     <com:SymbolPositionCode>L</com:SymbolPositionCode>
     <pat:IPCClassificationValueCode>I</pat:IPCClassificationValueCode>
     <pat:ActionDate>20250313</pat:ActionDate>
     <pat:IPCClassificationStatusCode>B</pat:IPCClassificationStatusCode>
     <pat:PatentClassificationDataSourceCode>H</pat:PatentClassificationDataSourceCode>
     <pat:GeneratingOfficeCode>CZ</pat:GeneratingOfficeCode>
     <pat:Section>H</pat:Section>
     <pat:Class>01</pat:Class>
     <pat:Subclass>J</pat:Subclass>
     <pat:MainGroup>37</pat:MainGroup>
     <pat:Subgroup>285</pat:Subgroup>
    </pat:IPCRClassification>
    <pat:IPCRClassification com:sequenceNumber="3">
     <pat:ClassificationVersionDate>20060101</pat:ClassificationVersionDate>
     <pat:PatentClassificationLevelCode>A</pat:PatentClassificationLevelCode>
     <com:SymbolPositionCode>L</com:SymbolPositionCode>
     <pat:IPCClassificationValueCode>I</pat:IPCClassificationValueCode>
     <pat:ActionDate>20250313</pat:ActionDate>
     <pat:IPCClassificationStatusCode>B</pat:IPCClassificationStatusCode>
     <pat:PatentClassificationDataSourceCode>H</pat:PatentClassificationDataSourceCode>
     <pat:GeneratingOfficeCode>CZ</pat:GeneratingOfficeCode>
     <pat:Section>H</pat:Section>
     <pat:Class>01</pat:Class>
     <pat:Subclass>J</pat:Subclass>
     <pat:MainGroup>37</pat:MainGroup>
     <pat:Subgroup>305</pat:Subgroup>
    </pat:IPCRClassification>
    <pat:IPCRClassification com:sequenceNumber="4">
     <pat:ClassificationVersionDate>20220101</pat:ClassificationVersionDate>
     <pat:PatentClassificationLevelCode>A</pat:PatentClassificationLevelCode>
     <com:SymbolPositionCode>L</com:SymbolPositionCode>
     <pat:IPCClassificationValueCode>I</pat:IPCClassificationValueCode>
     <pat:ActionDate>20250313</pat:ActionDate>
     <pat:IPCClassificationStatusCode>B</pat:IPCClassificationStatusCode>
     <pat:PatentClassificationDataSourceCode>H</pat:PatentClassificationDataSourceCode>
     <pat:GeneratingOfficeCode>CZ</pat:GeneratingOfficeCode>
     <pat:Section>G</pat:Section>
     <pat:Class>06</pat:Class>
     <pat:Subclass>V</pat:Subclass>
     <pat:MainGroup>10</pat:MainGroup>
     <pat:Subgroup>44</pat:Subgroup>
    </pat:IPCRClassification>
   </pat:IPCRClassificationBag>
  </pat:PatentClassificationBag>
  <pat:InventionTitleBag>
   <pat:InventionTitle com:languageCode="cs" pat:inventionTitleCategory="In grant publication">Způsob nalezení špičky manipulátoru zařízení se svazkem nabitých částic</pat:InventionTitle>
   <pat:InventionTitle com:languageCode="en" pat:inventionTitleCategory="In grant publication">A method of finding a tip of a manipulator of an equipment with a beam of charged particles</pat:InventionTitle>
  </pat:InventionTitleBag>
  <pat:ReferenceCitationBag>
   <pat:ReferenceCitation>
    <com:PatentCitation com:id="pcit0001">
     <com:PatentCitationText>(HITACHI HIGH TECH SCIENCE CORP) 25.3.2021</com:PatentCitationText>
    </com:PatentCitation>
   </pat:ReferenceCitation>
  </pat:ReferenceCitationBag>
  <pat:ClaimTotalQuantity>9</pat:ClaimTotalQuantity>
  <pat:PartyBag>
   <pat:ApplicantBag>
    <pat:Applicant>
     <com:Contact>
      <com:Name>
       <com:OrganizationName>
        <com:OrganizationStandardName>TESCAN GROUP, a.s.</com:OrganizationStandardName>
       </com:OrganizationName>
      </com:Name>
      <com:PostalAddressBag>
       <com:PostalAddress>
        <com:PostalStructuredAddress>
         <com:CityName>Brno, Kohoutovice</com:CityName>
         <com:CountryCode>CZ</com:CountryCode>
        </com:PostalStructuredAddress>
       </com:PostalAddress>
      </com:PostalAddressBag>
     </com:Contact>
    </pat:Applicant>
   </pat:ApplicantBag>
   <pat:InventorBag>
    <pat:Inventor>
     <com:Contact>
      <com:Name>
       <com:PersonName>
        <com:PersonFullName>anonymizováno/anonymized</com:PersonFullName>
       </com:PersonName>
      </com:Name>
      <com:PostalAddressBag>
       <com:PostalAddress>
        <com:PostalStructuredAddress>
         <com:CityName>Brno, Žebětín</com:CityName>
         <com:CountryCode>CZ</com:CountryCode>
        </com:PostalStructuredAddress>
       </com:PostalAddress>
      </com:PostalAddressBag>
     </com:Contact>
    </pat:Inventor>
   </pat:InventorBag>
  </pat:PartyBag>
  <com:FilingLanguageCode>cs</com:FilingLanguageCode>
  <com:PublicationLanguageCode>cs</com:PublicationLanguageCode>
 </pat:BibliographicData>
 <pat:Description xmlns:tbl="http://www.oasis-open.org/tables/exchange/1.0" com:id="desc" com:languageCode="cs">
  <com:P com:pNumber="1">Způsob nalezení špičky manipulátoru zařízení se svazkem nabitých částic </com:P>
  <com:P com:pNumber="2"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="3"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="4">
   <com:U>Oblast techniky</com:U>
  </com:P>
  <com:P com:pNumber="5"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="6">Předkládaný vynález se týká způsobu nalezení špičky manipulátoru zařízení se svazkem nabitých částic, konkrétně např. špičky manipulátoru použitého v systému FIB-SEM. </com:P>
  <com:P com:pNumber="7"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="8"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="9">
   <com:U>Dosavadní stav techniky</com:U>
  </com:P>
  <com:P com:pNumber="10"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="11">Zařízení se svazkem nabitých částic, jako je např. rastrovací elektronový mikroskop (SEM) či systém kombinující rastrovací elektronovou mikroskopii a fokusovaný iontový svazek (FIB-SEM), bývají v dnešní době vybaveny manipulátory. Tyto manipulátory mají širokou škálu použití v různých praktických aplikacích, přičemž s ohledem na měřítko, při kterém pracují, a jemnost manipulace, kterou poskytují, se v praxi nejčastěji používá označení nanomanipulátory. </com:P>
  <com:P com:pNumber="12"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="13">Jedním z praktických případů použití nanomanipulátoru je využití při výrobě lamely pro transmisní elektronový mikroskop (TEM). Lamelou je v tomto oboru chápán dostatečně tenký vzorek umožňující průchod svazku elektronů. Pro výrobu TEM lamel se nejčastěji používá fokusovaný iontový svazek, který slouží pro odprášení okolního materiálu, ať už samostatně (FIB) či v rámci kombinovaného systému FIB-SEM. Po odprášení materiálu je lamela pomocí nanomanipulátoru opatřeného špičkou vyzvednuta a upevněna na držák vzorku. Aby bylo možné celý proces provádět automatizovaně, je nutné špičku manipulátoru nejprve nalézt, tj. určit její polohu. To platí obecně pro jakýkoliv jiný automatizovaný pohyb manipulátoru i v jiných aplikacích. </com:P>
  <com:P com:pNumber="14"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="15">Přístupů pro nalezení špičky manipulátoru existuje více, nicméně nejčastěji se detekce špičky provádí s vycentrovaným svazkem. Při této konfiguraci jsou pořízeny dva snímky, zatímco je pohybováno buď špičkou manipulátoru, nebo vzorkem, a ze změny v těchto snímcích je pak možné určit, který prvek na snímcích odpovídá špičce manipulátoru. Nevýhoda tohoto řešení spočívá právě v potřebě pohybovat špičkou manipulátoru, či vzorkem, a navíc je detekce a následné navigování špičky manipulátoru v rovině kolmé na optickou osu zařízení se svazkem nabitých částic (tato rovina je obvykle označována jako rovina 
   
   <com:I>xy</com:I>) komplikováno tím, že snímky mohou mít odlišný především jas a kontrast. 
  
  </com:P>
  <com:P com:pNumber="16"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="17">Dále je ve stavu techniky známé získávání tzv. anaglyfů, přičemž v této oblasti techniky se tímto pojmem nazývají snímky složené ze dvou dílčích snímků pořízených při různém náklonu svazku nabitých částic. Při získávání jednotlivých snímků je tak svazek nabitých částic typicky nakloněn vůči ose optimálního vycentrování objektivu zařízení se svazkem nabitých částic nejprve na jednu stranu (doleva při pohledu na systém z předem stanoveného pohledu) a následně na druhou stranu, tj. doprava. Vytváření anaglyfů je popsáno např. v patentových dokumentech US 9012842 B2, US 8143573 B2 a CZ 298798 B6, avšak žádný z těchto dokumentů nepopisuje jakékoliv využití anaglyfů pro nalezení špičky manipulátoru. </com:P>
  <com:P com:pNumber="18"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="19">Bylo by tedy žádoucí přijít s řešením, které by umožňovalo nalezení špičky manipulátoru, aniž by přitom bylo potřeba pohybovat špičkou manipulátoru, či vzorkem. </com:P>
  <com:P com:pNumber="20"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="21"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="22">
   <com:U>Podstata vynálezu</com:U>
  </com:P>
  <com:P com:pNumber="23"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="24">Výše uvedené nedostatky do jisté míry odstraňuje způsob nalezení špičky manipulátoru zařízení se svazkem nabitých částic. Podstata tohoto způsobu spočívá v tom, že zahrnuje kroky: </com:P>
  <com:P com:pNumber="25"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="26">–   získání prvního snímku, přičemž první snímek je získán ozářením vzorku svazkem nabitých částic, který je zaostřený a nasměrovaný na oblast zájmu na vzorku a který dopadá na vzorek v prvním směru, přičemž při získání prvního snímku se špička manipulátoru nachází v zorném poli zařízení se svazkem nabitých částic a v určité vzdálenosti nad vzorkem, </com:P>
  <com:P com:pNumber="27"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="28">–   získání druhého snímku, přičemž druhý snímek je získán ozářením vzorku svazkem nabitých částic, který je nasměrovaný na stejnou oblast zájmu a zaostřený do stejného místa na vzorku jako v kroku získání prvního snímku a který dopadá na vzorek ve druhém směru odlišném od prvního směru, přičemž v kroku získání druhého snímku je poloha špičky manipulátoru a vzorku vůči komoře zařízení se svazkem nabitých částic stejná jako v kroku získání prvního snímku, a </com:P>
  <com:P com:pNumber="29"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="30">–   vyhodnocení alespoň prvního snímku a druhého snímku, přičemž na základě vyhodnocení alespoň prvního snímku a druhého snímku je určena poloha špičky manipulátoru v rovině kolmé na optickou osu tubusu zařízení se svazkem nabitých částic jakožto poloha objektu, který je na jednotlivých snímcích nejvíce posunutý. </com:P>
  <com:P com:pNumber="31"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="32">Díky uvedenému způsobu je možné nalézt špičku manipulátoru, aniž by bylo potřeba pohybovat manipulátorem, nebo vzorkem. Navíc díky tomu, že je poloha špičky manipulátoru a vzorku vůči komoře zařízení se svazkem nabitých částic při získání obou snímku stejná, mají oba snímky stejný jas a kontrast, což usnadňuje vyhodnocení jednotlivých snímků pro nalezení špičky manipulátoru. Jak je uvedeno výše, poloha špičky manipulátoru v rovině kolmé na optickou osu tubusu zařízení se svazkem nabitých částic je určena jakožto poloha objektu, který je na jednotlivých snímcích nejvíce posunutý. V ideálním případě, kdy vzorek není příliš topograficky členitý, zůstává obraz samotného vzorku nezměněn a mění se pouze poloha špičky manipulátoru na jednotlivých snímcích. Pokud je vzorek silně topograficky členitý, dochází na jednotlivých snímcích nejen k posunu obrazu špičky manipulátoru, ale také k určitému posunutí obrazu samotného vzorku. Posunutí obrazu samotného vzorku na jednotlivých snímcích je však menší než posunutí obrazu špičky manipulátoru. </com:P>
  <com:P com:pNumber="33"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="34">Krok vyhodnocení alespoň prvního snímku a alespoň druhého snímku výhodně zahrnuje krok vytvoření kombinovaného snímku, přičemž kombinovaný snímek je složený z alespoň prvního snímku a druhého snímku, které se překrývají přes sebe. Poloha špičky manipulátoru v rovině kolmé na optickou osu tubusu zařízení se svazkem nabitých částic je určena jakožto poloha objektu, který je na kombinovaném snímku nejvíce posunutý. Díky kombinovanému snímku, tzv. anaglyfu, lze především získat názornější představu o posunutí obrazu špičky manipulátoru, případně může být vyhodnocování alespoň prvního snímku a druhého snímku ve formě kombinovaného snímku jednodušší. Vytvoření kombinovaného snímku nicméně není pro určení polohy špičky manipulátoru v principu nutné. </com:P>
  <com:P com:pNumber="35"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="36">Svazek nabitých částic dopadající na vzorek v kroku získání prvního snímku v prvním směru je skloněný vůči ose optimálního vycentrování objektivu zařízení se svazkem nabitých částic o první úhel náklonu nebo svazek nabitých částic dopadající na vzorek v kroku získání druhého snímku ve druhém směru je skloněný vůči ose optimálního vycentrování objektivu zařízení se svazkem nabitých částic o druhý úhel náklonu. Sklonění svazku nabitých částic o první úhel náklonu, respektive druhý úhel náklonu umožňuje zachytit špičku manipulátoru nad vzorkem ze dvou různých pohledů, a tím získat snímky, na kterých je obraz špičky manipulátoru vzájemně posunutý. Úhel náklonu se nastavuje posunutím tzv. pivot pointu v rovině kolmé na optickou osu tubusu zařízení se svazkem nabitých částic. </com:P>
  <com:P com:pNumber="37"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="38">Výhodně svazek nabitých částic dopadající na vzorek v kroku získání prvního snímku v prvním směru a svazek nabitých částic dopadající na vzorek v kroku získání druhého snímku ve druhém směru leží v jedné společné rovině, přičemž v této společné rovině leží také osa optimálního vycentrování objektivu zařízení se svazkem nabitých částic. Leží-li svazek nabitých částic v obou případech ve společné rovině s osou optimálního vycentrování objektivu zařízení se svazkem nabitých částic, je výpočetně méně náročné určit konkrétní souřadnice polohy špičky manipulátoru v rovině kolmé na optickou osu tubusu zařízení se svazkem nabitých částic vůči vzorku či vůči komoře zařízení se svazkem nabitých částic.  </com:P>
  <com:P com:pNumber="39"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="40">Výhodně je svazek nabitých částic dopadající na vzorek v kroku získání prvního snímku v prvním směru skloněný vůči ose optimálního vycentrování objektivu zařízení se svazkem nabitých částic o první úhel náklonu na jednu stranu a svazek nabitých částic dopadající na vzorek v kroku získání druhého snímku ve druhém směru je skloněný vůči ose optimálního vycentrování objektivu zařízení se svazkem nabitých částic o druhý úhel náklonu na opačnou stranu. Díky sklonění svazku nabitých částic v jedné rovině postupně na obě strany mohou být velikosti jednotlivých úhlů náklonu vzájemně různé, ale také vzájemně stejné. Navíc skloněním svazku nabitých částic takto na vzájemně opačné strany lze dosáhnout většího úhlu mezi jednotlivými směry dopadu i při relativně malých úhlech náklonu svazku nabitých částic vůči ose optimálního vycentrování objektivu zařízení se svazkem nabitých částic při získání jednotlivých snímků. </com:P>
  <com:P com:pNumber="41"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="42">První úhel náklonu vůči ose optimálního vycentrování objektivu zařízení se svazkem nabitých částic má výhodně stejnou velikost jako druhý úhel náklonu vůči ose optimálního vycentrování objektivu zařízení se svazkem nabitých částic. Pokud tedy svazek nabitých částic při získání prvního snímku a svazek nabitých částic při získání druhého snímku leží v jedné společné rovině s osou optimálního vycentrování objektivu zařízení se svazkem nabitých částic, pokud jsou skloněny na vzájemně opačné strany vůči ose optimálního vycentrování objektivu zařízení se svazkem nabitých částic a pokud mají současně první úhel náklonu a druhý úhel náklonu stejnou velikost, tak platí, že se špička manipulátoru nachází přesně uprostřed mezi oběma obrazy špičky manipulátoru na jednotlivých snímcích, případně přesně uprostřed mezi oběma obrazy špičky manipulátoru na kombinovaném snímku, pokud je pro vyhodnocení alespoň prvního snímku a druhého snímku tento kombinovaný snímek vytvořen. Polohu špičky manipulátoru v rovině kolmé na osu tubusu zařízení se svazkem nabitých částic lze pak dopočítat jednoduše zprůměrováním souřadnic prvního a druhého obrazu špičky manipulátoru na jednotlivých snímcích, případně na kombinovaném snímku. Jedná se tedy o konfiguraci, která je výpočetně nejméně náročná. </com:P>
  <com:P com:pNumber="43"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="44">Výhodně má alespoň jeden z prvního úhlu náklonu vůči ose optimálního vycentrování objektivu zařízení se svazkem nabitých částic a druhého úhlu náklonu vůči ose optimálního vycentrování objektivu zařízení se svazkem nabitých částic velikost z rozsahu 0,05° až 5°. Alternativně může být velikost těchto úhlů o něco větší, např. může být volena z rozsahu 0,05° až 10°. Konkrétní hodnota úhlů náklonu je volena tak, aby byl náklon co největší, tj. aby došlo k co největšímu posunu obrazu špičky manipulátoru na jednotlivých snímcích, ale aby zároveň nedocházelo k přílišnému zhoršení obrazu. Při volbě konkrétní hodnoty úhlů náklonu přitom záleží např. na skenovacím módu, urychlovacím napětí, proudu svazku nabitých částic, typu tubusu apod. </com:P>
  <com:P com:pNumber="45"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="46">Výhodně je na základě polohy místa na vzorku, do něhož je zaostřen svazek nabitých částic v kroku získání prvního snímku a v kroku získání druhého snímku, určena poloha špičky manipulátoru vůči vzorku v rovině kolmé na optickou osu tubusu zařízení se svazkem nabitých částic.  </com:P>
  <com:P com:pNumber="47"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="48">Výhodně je na základě polohy místa na vzorku, do něhož je zaostřen svazek nabitých částic v kroku získání prvního snímku a v kroku získání druhého snímku, určena poloha špičky manipulátoru vůči vzorku v ose dané optickou osou tubusu zařízení se svazkem nabitých částic. Jinými slovy to znamená, že při znalosti úhlů náklonu a posunutí obrazu špičky manipulátoru na jednotlivých snímcích, lze určit vzdálenost špičky manipulátoru od vzorku v ose dané optickou osou tubusu. </com:P>
  <com:P com:pNumber="49"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="50"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="51">
   <com:U>Objasnění výkresů</com:U>
  </com:P>
  <com:P com:pNumber="52"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="53">
   <com:B>Podstata vynálezu je dále objasněna na příkladech jeho uskutečnění, které jsou popsány s využitím připojených výkresů, kde na:</com:B>
  </com:P>
  <com:P com:pNumber="54"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="55">obr. 1  je schematicky znázorněno zařízení se svazkem nabitých částic, pomocí něhož lze způsob podle předkládaného vynálezu provádět, s důrazem na znázornění principu naklánění svazku nabitých částic vůči ose optimálního vycentrování objektivu, </com:P>
  <com:P com:pNumber="56"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="57">obr. 2  je schematicky znázorněn vzorek, špička manipulátoru a dopadající svazek nabitých částic v obou konfiguracích využitých při způsobu podle předkládaného vynálezu pro získání prvního snímku a druhého snímku, </com:P>
  <com:P com:pNumber="58"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="59">obr. 3  je znázorněn vývojový diagram způsobu nalezení špičky manipulátoru podle předkládaného vynálezu obsahující jeho základní kroky, </com:P>
  <com:P com:pNumber="60"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="61">obr. 4a  je znázorněn dílčí snímek získaný při způsobu podle předkládaného vynálezu, tj. první snímek, nebo druhý snímek, </com:P>
  <com:P com:pNumber="62"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="63">obr. 4b  je znázorněn kombinovaný snímek získaný při způsobu podle předkládaného vynálezu a </com:P>
  <com:P com:pNumber="64"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="65">obr. 5  je schematicky znázorněn kombinovaný snímek získaný při způsobu podle předkládaného vynálezu. </com:P>
  <com:P com:pNumber="66"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="67"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="68">
   <com:U>Příklady uskutečnění vynálezu</com:U>
  </com:P>
  <com:P com:pNumber="69"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="70">Vynález bude dále objasněn na příkladech uskutečnění s odkazem na příslušné výkresy. S ohledem na logickou návaznost textu bude nejprve popsáno zařízení se svazkem 3 nabitých částic, pomocí kterého lze způsob podle předkládaného vynálezu provádět, a následně bude popsán uvedený způsob. </com:P>
  <com:P com:pNumber="71"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="72">Zařízení se svazkem 3 nabitých částic je schematicky znázorněno na obr. 1, přičemž tento schematický nákres s ohledem na dostatečnou přehlednost znázorňuje pouze některé části zařízení se svazkem 3 nabitých částic, zejména části, které jsou důležité pro popis naklánění svazku 3 nabitých částic vůči ose 4 optimálního vycentrování objektivu zařízení se svazkem 3 nabitých částic, jak bude popisováno níže. Zařízení se svazkem 3 nabitých částic zahrnuje alespoň jeden zdroj nabitých částic (na obr. 1 znázorněn není), pomocí něhož jsou generovány nabité částice. Zdrojem nabitých částic je příkladně zdroj elektronů. V dalším příkladném provedení zdroje nabitých částic je zdrojem nabitých částic zdroj iontů. </com:P>
  <com:P com:pNumber="73"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="74">Zařízení dále obsahuje alespoň jeden tubus a komoru (tyto části rovněž nejsou na obr. 1 znázorněny), přičemž tubus je připojen ke komoře a zdroj nabitých částic je umístěn v tubusu. Středem tubusu prochází optická osa 5 tubusu zařízení se svazkem 3 nabitých částic. V tubusu jsou dále umístěny prvky k formování a směřování částic, zejména elektromagnetické čočky a rastrovací prvky 6, příkladně rastrovací cívky. V případě, že zařízení obsahuje dva tubusy připojené ke komoře, jsou tyto připojeny tak, aby jednotlivé optické osy 5 tubusu zařízení se svazkem 3 nabitých částic svíraly úhel větší než 0° a menší než 180°. Příkladem takovéhoto zařízení je rastrovací elektronový mikroskop s druhým tubusem produkujícím fokusovaný iontový svazek. V příkladném provedení zařízení se svazkem 3 nabitých částic je ke komoře dále připojeno zařízení generující svazek fotonů. </com:P>
  <com:P com:pNumber="75"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="76">Pro účely popisu budou definovány osy x, y a z následovně
   
   <com:I>. </com:I>Osa 
   
   <com:I>z</com:I> je shodná s optickou osou 5 tubusu zařízení se svazkem 3 nabitých částic. Osy 
   
   <com:I>x</com:I> a 
   
   <com:I>y</com:I> jsou navzájem kolmé a tvoří rovinu 
   
   <com:I>xy</com:I>, která je kolmá na optickou osu 5 tubusu zařízení se svazkem 3 nabitých částic. 
  
  </com:P>
  <com:P com:pNumber="77"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="78">Zařízení dále obsahuje objektiv tvořený objektivovou čočkou 7, přičemž také objektivová čočka 7 patří mezi prvky k formování a směřování částic. Zdroj nabitých částic pomocí prvků k formování a směřování částic pak ozařuje prostor, jenž je v jeho zorném poli, přičemž zformovaný svazek 3 nabitých částic prochází skrze objektivovou čočku 7. Svazek nabitých částic 3 nemusí ozařovat vždy celé zorné pole, ale lze ozařovat jen jeho část tzv. oblast zájmu nebo může ozařovat celé zorné pole, ale zobrazovat jen oblast zájmu, přičemž zbylá část zorného pole může být použita pro kompenzaci např. mírného posunu vzorku 2 vlivem driftu. Optická osa 5 tubusu zařízení se svazkem 3 nabitých částic prochází středem objektivové čočky 7.  </com:P>
  <com:P com:pNumber="79"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="80">V komoře se dále nachází pohyblivý stolek 8 pro umístění alespoň jednoho vzorku 2. Stolek 8 je uspořádán pro pohyb podél alespoň dvou navzájem kolmých os. V příkladném provedení stolku 8 je stolek 8 uspořádán pro pohyb podél tří navzájem kolmých os. V dalším příkladném provedení stolku 8 je stolek 8 dále uspořádán pro rotaci kolem alespoň jedné osy a náklon kolem alespoň jedné osy. Příkladná provedení stolku 8 se mohou libovolně kombinovat. </com:P>
  <com:P com:pNumber="81"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="82">V komoře se dále nachází pohyblivý manipulátor. Konec manipulátoru má tvar špičky, a obsahuje tedy špičku 1 manipulátoru. V alternativním provedení manipulátoru je konec manipulátoru tvořen jehlou připojenou rozebíratelně k manipulátoru a tvořící špičku 1 manipulátoru. V příkladném provedení možností pohybu manipulátoru je manipulátor pohyblivý podél tří os, které jsou v příkladném provedení na sebe navzájem kolmé. V dalším příkladném provedení možností pohybu manipulátoru umožňuje manipulátor dále rotaci kolem jedné osy a náklon kolem jedné osy. </com:P>
  <com:P com:pNumber="83"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="84">Zařízení se svazkem 3 nabitých částic dále obsahuje alespoň jeden detektor signálních částic. Signálními částicemi jsou zejména sekundární nebo zpětně odražené částice, případně jiné částice emitované vzorkem 2 vlivem interakce s dopadajícím svazkem nabitých částic. Detektorem signálních částic může být také detektor absorbovaného proudu. Detektor signálních částic může být umístěný v komoře nebo v tubusu. </com:P>
  <com:P com:pNumber="85"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="86">Detekováním signálních částic je vytvořen snímek, přičemž na snímku je zobrazena oblast zájmu, na kterou je svazek 3 nabitých částic nasměrován, a kterou tedy svazek 3 nabitých částic skenuje. Jak je vidět na obr. 1, nabité částice jsou pomocí prvků k formování a směřování částic nejprve vychýleny směrem od optické osy 5 tubusu zařízení se svazkem 3 nabitých částic. Následně jsou nabité částice vychýleny zpět směrem k optické ose 5 tubusu zařízení se svazkem 3 nabitých částic. Svazek 3 nabitých částic poté prochází skrze objektivovou čočku 7, která jej zaostřuje do určitého místa na vzorku 2. Toto místo je na obr. 1 znázorněno černou tečkou na povrchu vzorku 2.  </com:P>
  <com:P com:pNumber="87"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="88">Dále je na obr. 1 pomocí dalších černých teček znázorněn tzv. pivot point, který se nachází uvnitř objektivové čočky 7. Tímto pivot pointem prochází svazek 3 nabitých částic při skenování oblasti zájmu, přičemž na obr. 1 je svazek 3 nabitých částic znázorněn třemi přerušovanými čarami, které se kříží právě v tomto pivot pointu. Dvě z těchto čar odpovídají krajnímu vychýlení svazku 3 nabitých částic, kdy svazek 3 nabitých částic dopadá na okraj oblasti zájmu, a zbylá čára uprostřed odpovídá dopadu svazku 3 nabitých na konkrétní místo na vzorku 2 nacházející se uvnitř oblasti zájmu. Pro účely přehlednosti je vztahová značka umístěna pouze k této prostřední přerušované čáře. Také je vhodné zmínit, že svazek 3 nabitých částic je reprezentován čarami, jak je při nákresech v této oblasti techniky běžné, ačkoliv reálně nemá v tubusu takový tvar a dopadá na vzorek 2 ve tvaru kužele. Jednotlivé čáry tak odpovídají středové ose svazku 3 nabitých částic. </com:P>
  <com:P com:pNumber="89"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="90">Konkrétně jsou na obr. 1 znázorněny dva svazky 3 nabitých částic, ovšem u jednoho z nich (naznačeného tečkovanými čarami) je jeho středová osa označena jako osa 4 optimálního vycentrování objektivu zařízení se svazkem 3 nabitých částic, neboť odpovídá případu, kdy je svazek 3 nabitých částic optimálně vycentrovaný. V tomto případě se pivot point nachází na optické ose 5 tubusu zařízení se svazkem 3 nabitých částic. Nejedná se tedy o dva různé svazky 3 nabitých částic, které by byly v komoře přítomny současně, ale o jeden svazek 3 nabitých částic ve dvou různých případech, které jsou pro větší názornost zakresleny do obr. 1 společně. Ve druhém případě je svazek 3 nabitých částic skloněný vůči ose 4 optimálního vycentrování objektivu zařízení se svazkem 3 nabitých částic o určitý úhel náklonu, který je na obr. 1 označen jako α. Na obr. 1 je také patrné, že v tomto druhém případě se pivot point nenachází na optické ose 5 tubusu zařízení se svazkem 3 nabitých částic, ale je posunutý v rovině kolmé na optickou osu 5 tubusu zařízení se svazkem 3 nabitých částic. </com:P>
  <com:P com:pNumber="91"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="92">Posunutí pivot pointu v rovině kolmé na optickou osu 5 tubusu zařízení se svazkem 3 nabitých částic, a tedy naklonění svazku 3 nabitých částic vůči ose 4 optimálního vycentrování objektivu zařízení se svazkem 3 nabitých částic, je prováděno změnou nastavení rastrovacích prvků 6. Konkrétně, pokud jsou těmito rastrovacími prvky 6 příkladně rastrovací cívky, je na rastrovací cívky z alespoň jednoho zdroje proudu přiveden proud se dvěma složkami – tzv. offsetem (stejnosměrnou složkou) a měnící se hodnotou (střídavou složkou). Posunutí pivot pointu je pak konkrétně prováděno změnou offsetu rastrovacích cívek, zatímco měnící se hodnota slouží ke skenování svazkem 3 nabitých částic. Změnou této měnicí se hodnoty je také zajišťováno, aby při náklonu svazku 3 nabitých částic vůči ose 4 optimálního vycentrování objektivu zařízení se svazkem 3 nabitých částic nedocházelo k posunutí celého obrazu; tj. aby byla ozářena stejná oblast zájmu na vzorku 2 a aby byl nakloněný svazek 3 nabitých částic pomocí objektivové čočky 7 zaostřen do stejného místa na vzorku 2 jako v případě optimálního vycentrování objektivu. Výhodně je k zarovnání obrazu možné použít například význačný bod na vzorku, jako je např. referenční značka. </com:P>
  <com:P com:pNumber="93"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="94">V dalším příkladném provedení rastrovacích prvků 6 jsou těmito rastrovacími prvky 6 elektrody, na které je z alespoň jednoho zdroje napětí přiváděno napětí se stejnosměrnou a střídavou složkou. Naklánění svazku 3 nabitých částic vůči ose 4 optimálního vycentrování objektivu zařízení se svazkem 3 nabitých částic je pak prováděno analogicky jako při použití rastrovacích cívek. </com:P>
  <com:P com:pNumber="95"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="96">Zařízení dále zahrnuje vyhodnocovací jednotku obsahující software pro provádění způsobu. </com:P>
  <com:P com:pNumber="97"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="98">Způsob nejprve zahrnuje krok získání prvního snímku a krok získání druhého snímku, přičemž první snímek a druhý snímek jsou získány postupně při různé konfiguraci zařízení se svazkem 3 nabitých částic, konkrétně při různém směru dopadu svazku 3 nabitých částic. V kroku získání prvního snímku dopadá svazek 3 nabitých částic na vzorek 2 v prvním směru, zatímco v kroku získání druhého snímku dopadá svazek 3 nabitých částic na vzorek 2 ve druhém směru, který je odlišný od prvního směru. To je nejlépe znázorněno na schematickém nákresu dle obr. 2, kde je znázorněn první úhel náklonu (označen jako α1) svazku 3 nabitých částic vůči ose 4 optimálního vycentrování objektivu zařízení se svazkem 3 nabitých částic a druhý úhel náklonu (označen jako α2) svazku 3 nabitých částic vůči ose 4 optimálního vycentrování objektivu zařízení se svazkem 3 nabitých částic. První úhel náklonu odpovídá konfiguraci, při níž je získán první snímek, a druhý úhel náklonu odpovídá konfiguraci, při níž je získán druhý snímek. Při způsobu podle předkládaného vynálezu nicméně může být svazek 3 nabitých částic vůči ose 4 optimálního vycentrování objektivu zařízení se svazkem 3 nabitých částic skloněný pouze v kroku získání prvního snímku či pouze v kroku získání druhého snímku. Tedy, jeden z dvojice úhlů náklonu α1 a α2 může být nulový. </com:P>
  <com:P com:pNumber="99"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="100">Naklánění svazku 3 nabitých částic je provedeno posunutím pivot pointu v rovině kolmé na optickou osu 5 tubusu zařízení se svazkem 3 nabitých částic, jak bylo popisováno výše při popisu zařízení. </com:P>
  <com:P com:pNumber="101"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="102">Svazek 3 nabitých částic v kroku získání prvního snímku a svazek 3 nabitých částic v kroku získání druhého snímku jsou v obr. 2 znázorněny společně, a to z důvodu větší názornosti. Platí totiž, že při získání druhého snímku je poloha špičky 1 manipulátoru a vzorku 2 vůči komoře zařízení se svazkem 3 nabitých částic stejná jako při získání prvního snímku. V obou případech je tedy stejná také vzájemná poloha špičky 1 manipulátoru a vzorku 2, což obr. 2 odráží. Na obr. 2 je také vidět, že špička 1 manipulátoru se nachází v určité vzdálenosti nad vzorkem 2, tedy že není se vzorkem 2 v kontaktu. Mění se však úhel, pod kterým je snímek pořízen. Jinými slovy, mění se právě úhel náklonu svazku 3 nabitých částic vůči ose 4 optimálního vycentrování objektivu zařízení se svazkem 3 nabitých částic. </com:P>
  <com:P com:pNumber="103"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="104">Ve výhodném provedení způsobu leží svazek 3 nabitých částic dopadající na vzorek 2 v kroku získání prvního snímku a svazek 3 nabitých částic dopadající na vzorek 2 v kroku získání druhého snímku v jedné společné rovině, přičemž v této společné rovině leží také osa 4 optimálního vycentrování objektivu zařízení se svazkem 3 nabitých částic. Velikosti prvního úhlu náklonu a druhého úhlu náklonu mohou být obecně různé. V případě, že jsou velikosti těchto úhlů stejné a svazek 3 nabitých částic v jednotlivých případech leží v jedné společné rovině s osou 4 optimálního vycentrování objektivu zařízení se svazkem 3 nabitých částic, musí být svazek 3 nabitých částic v kroku získání prvního snímku skloněný vůči ose 4 optimálního vycentrování objektivu zařízení se svazkem 3 nabitých částic na jednu stranu a svazek 3 nabitých částic v kroku získání druhého snímku pak musí být vůči ose 4 optimálního vycentrování objektivu zařízení se svazkem 3 nabitých částic skloněný na opačnou stranu. Pokud jsou však velikosti obou úhlů náklonu různé, může být svazek 3 nabitých částic v kroku získání prvního snímku a svazek 3 nabitých částic v kroku získání druhé snímku skloněný vůči ose 4 optimálního vycentrování objektivu zařízení se svazkem 3 nabitých částic na stejnou stranu.  </com:P>
  <com:P com:pNumber="105"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="106">Konkrétní hodnota úhlů náklonu je volena tak, aby byl náklon co největší, ale aby zároveň nedocházelo k přílišnému zhoršení obrazu. Výhodně je velikost prvního úhlu náklonu a druhého úhlu vybrána z rozsahu 0,05° až 5°. Pro nalezení špičky 1 manipulátoru je dále potřeba, aby se při získání prvního snímku i při získání druhého snímku tato špička 1 manipulátoru nacházela v zorném poli zařízení se svazkem 3 nabitých částic. Tím je zajištěno, že je obraz špičky 1 manipulátoru viditelný na prvním snímku i na druhém snímku. </com:P>
  <com:P com:pNumber="107"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="108">Je také potřeba, aby byl svazek 3 nabitých částic při získání prvního snímku i při získání druhého snímku nasměrován na stejnou oblast zájmu a zaostřen do stejného místa na povrchu vzorku 2. Díky tomu, že je svazek 3 nabitých částic při získání prvního snímku a druhého snímku nasměrován na stejnou oblast zájmu a zaostřen do stejného místa na vzorku 2, a současně díky tomu, že se při získání obou snímků nemění poloha špičky 1 manipulátoru a vzorku 2 vůči komoře zařízení se svazkem 3 nabitých částic, se na prvním snímku a druhém snímku nezmění obraz samotného vzorku 2. Respektive, v případě topograficky členitého vzorku může dojít k posunu obrazu vzorku 2 mezi jednotlivými snímky, jelikož například vystouplý objekt bude ozařován svazkem nabitých částic z různých stran. Ovšem vzhledem k tomu, že se špička 1 manipulátoru nachází v určité vzdálenosti nad vzorkem 2, typicky ve vzdálenosti v řádu desítek μm, změní se na prvním snímku a druhém snímku právě poloha špičky 1 manipulátoru, respektive obraz špičky 1 manipulátoru se na jednotlivých snímcích posune více než obraz samotného vzorku 2. Pro nalezení polohy špičky 1 manipulátoru je tak potřeba první snímek a druhý snímek vyhodnotit, přičemž poloha špičky 1 manipulátoru v rovině kolmé na optickou osu 5 tubusu zařízení se svazkem 3 nabitých částic je určena jakožto poloha objektu, který je na jednotlivých snímcích nejvíce posunutý. </com:P>
  <com:P com:pNumber="109"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="110">Po krocích získání prvního snímku a druhého snímku, přičemž na pořadí těchto kroků ve způsobu dle předkládaného vynálezu nezáleží, je tedy proveden krok vyhodnocení alespoň prvního snímku a druhého snímku. Krok vyhodnocení alespoň prvního snímku a druhého snímku je přitom možné realizovat různě, pokud vede k určení polohy špičky 1 manipulátoru v rovině kolmé na optickou osu 5 tubusu zařízení se svazkem 3 nabitých částic jakožto polohy objektu, který je na jednotlivých snímcích nejvíce posunutý. </com:P>
  <com:P com:pNumber="111"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="112">V jednom provedení tohoto kroku je vyhodnocení alespoň prvního snímku a druhého snímku realizován pomocí vytvoření kombinovaného snímku složeného z prvního snímku a druhého snímku. Tento kombinovaný snímek, nazývaný též anaglyf, je vytvořen překrytím prvního snímku a druhého snímku přes sebe tak, že kombinovaný snímek zahrnuje současně prvky prvního snímku i druhého snímku. Příkladně je vytvoření kombinovaného snímku provedeno pomocí softwaru, do kterého jsou jednotlivé snímky nahrány jako vstup. </com:P>
  <com:P com:pNumber="113"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="114">Na kombinovaném snímku zůstává obraz samotného vzorku 2 nezměněný (pokud není vzorek 2 silně topograficky členitý, jak bylo vysvětleno výše), zatímco obraz špičky 1 manipulátoru se na tomto kombinovaném snímku jeví jako posunutý. K tomuto posunutí obrazu špičky 1 manipulátoru na kombinovaném snímku dochází i přes to, že špička 1 manipulátoru se fyzicky nijak vůči vzorku 2, ostatně ani vůči komoře zařízení se svazkem 3 nabitých částic, nepohnula. Posunutí na kombinovaném snímku je dáno právě tím, že na prvním snímku a druhém snímku je špička 1 manipulátoru zachycena z různých pohledů, tedy že svazek 3 nabitých částic dopadal při získání druhého snímku na vzorek 2 obecně v odlišném směru než při získání prvního snímku. </com:P>
  <com:P com:pNumber="115"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="116">Kombinovaný snímek je následně vyhodnocen pro určení polohy špičky 1 manipulátoru v rovině kolmé na osu 5 tubusu zařízení se svazkem 3 nabitých částic. Vyhodnocení kombinovaného snímku spočívá v rozpoznání obrazu špičky 1 manipulátoru od obrazu samotného vzorku 2, přičemž jako špička 1 manipulátoru je identifikován právě objekt, který se na kombinovaném snímku jeví jako nejvíce posunutý. Toto posunutí špičky 1 manipulátoru je patrné z obr. 4b, který znázorňuje kombinovaný snímek získaný při reálném experimentu, či na obr. 5, který znázorňuje kombinovaný snímek pouze schematicky pro větší názornost. Na obr. 4a je naopak znázorněn dílčí snímek, tj. první snímek či druhý snímek, kde k žádnému posunutí obrazu špičky 1 manipulátoru nedochází. </com:P>
  <com:P com:pNumber="117"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="118">Identifikace obrazu špičky 1 manipulátoru na kombinovaném snímku pro určení polohy špičky 1 manipulátoru může být realizována různými způsoby. Příkladně je realizována automaticky pomocí algoritmu, který na kombinovaném snímku automaticky určí polohu význačného bodu posunutého objektu, který tedy odpovídá špičce 1 manipulátoru. Tímto význačným bodem je příkladně hrot špičky 1 manipulátoru. Pokud svazek 3 nabitých částic při získání prvního snímku a svazek 3 nabitých částic při získání druhého snímku leží v jedné společné rovině s osou 4 optimálního vycentrování objektivu zařízení se svazkem 3 nabitých částic, pokud jsou skloněny na vzájemně opačné strany vůči ose 4 optimálního vycentrování objektivu zařízení se svazkem 3 nabitých částic a pokud mají první úhel náklonu a druhý úhel náklonu stejnou velikost, tak platí, že se špička 1 manipulátoru nachází přesně uprostřed mezi prvním obrazem špičky 1 manipulátoru na kombinovaném snímku a druhým obrazem špičky 1 manipulátoru na kombinovaném snímku. Poloha špičky 1 manipulátoru v rovině kolmé na osu 5 tubusu zařízení se svazkem 3 nabitých částic je pak dopočítána jednoduše zprůměrováním souřadnic prvního obrazu špičky 1 manipulátoru na kombinovaném snímku a druhého obrazu špičky 1 manipulátoru na kombinovaném snímku. Pokud není velikost prvního úhlu náklonu a druhého úhlu náklonu stejná, nebo pokud neleží svazek 3 nabitých částic v obou případech v uvedené společné rovině, je potřeba výpočet pro určení polohy špičky 1 manipulátoru v rovině kolmé na osu 5 tubusu zařízení se svazkem 3 nabitých částic korigovat. </com:P>
  <com:P com:pNumber="119"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="120">V dalším příkladném provedení vyhodnocení kombinovaného snímku je kombinovaný snímek vyhodnocený pomocí umělé inteligence, která v kombinovaném snímku automaticky rozpozná obrazy posunutého objektu, které odpovídají špičce 1 manipulátoru. </com:P>
  <com:P com:pNumber="121"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="122">V dalším příkladném provedení kroku vyhodnocení alespoň prvního snímku a druhého snímku není kombinovaný snímek vytvořen a identifikace obrazu špičky manipulátoru je prováděna přímo na jednotlivých snímcích. Pokud je pro rozpoznání obrazu např. použita umělá inteligence, jsou pomocí umělé inteligence zpracovány jednotlivé snímky.  </com:P>
  <com:P com:pNumber="123"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="124">Konkrétní typ umělé inteligence pro vyhodnocení alespoň prvního a druhého snímku je volen takový, který umožňuje, aby vstupem umělé inteligence byly jednotlivé snímky nebo kombinovaný snímek a výstupem informace vedoucí k určení polohy špičky 1 manipulátoru nebo přímo poloha špičky 1 manipulátoru. </com:P>
  <com:P com:pNumber="125"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="126">Určením polohy špičky 1 manipulátoru v rovině kolmé na osu 5 tubusu zařízení se svazkem 3 nabitých částic je špička 1 manipulátoru dostatečně nalezena. Následně, vzhledem k tomu, že jsou známé souřadnice bodu na povrchu vzorku 2, do kterého byl svazek 3 nabitých částic zaostřen, lze dopočítat také polohu špičky 1 manipulátoru vůči vzorku 2 či obecně vůči komoře zařízení se svazkem 3 nabitých částic, a to právě v rovině 
   
   <com:I>xy</com:I>. Tato data lze poskytnout ovládacímu prvku manipulátoru, který ovládá pohyb manipulátoru, včetně špičky 1 manipulátoru, v komoře zařízení se svazkem 3 nabitých částic.  
  
  </com:P>
  <com:P com:pNumber="127"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="128">Dále může být také určena pozice špičky 1 manipulátoru v ose 
   
   <com:I>z </com:I>příslušející konkrétnímu tubusu zařízení se svazkem 3 nabitých částic. V případě, že má zařízení se svazkem 3 nabitých částic více tubusů, např. je-li provedeno jako systém FIB-SEM, je provedeno určení pozice špičky 1 manipulátoru v ose 
   
   <com:I>z</com:I> prvního tubusu (příkladně tubusu rastrovacího elektronového mikroskopu) pomocí fokusovaného iontového svazku, neboť druhý tubus s fokusovaným iontovým svazkem je skloněný o známý úhel vůči tubusu rastrovacího elektronového mikroskopu. Alternativně lze namísto fokusovaného iontového svazku použít např. laser či další rastrovací elektronový mikroskop, pokud je skloněný vůči prvnímu rastrovacímu elektronovému mikroskopu. V dalším provedení určení pozice špičky 1 manipulátoru v ose 
   
   <com:I>z</com:I> je určení pozice špičky 1 manipulátoru v ose 
   
   <com:I>z</com:I> provedeno bez využití fokusovaného iontového svazku, příkladně na základě měření plochy, kterou obraz špičky 1 manipulátoru zabírá na jednotlivých snímcích, či na kombinovaném snímku. V dalším příkladném provedení určení pozice špičky 1 manipulátoru v ose 
   
   <com:I>z</com:I> je určení pozice provedeno na základě známé změny úhlu náklonu svazku nabitých částic mezi jednotlivými snímky a velikosti posunutí špičky 1 manipulátoru mezi jednotlivými snímky. 
  
  </com:P>
  <com:P com:pNumber="129"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="130">Níže je dále popsáno jedno konkrétní příkladné provedení způsobu podle předkládaného vynálezu. </com:P>
  <com:P com:pNumber="131"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="132">V tomto konkrétním příkladném provedení je způsob nalezení špičky 1 manipulátoru proveden pomocí zařízení se svazkem 3 nabitých částic, kterým je rastrovací elektronový mikroskop (SEM) dále opatřený fokusovaným iontovým svazkem (FIB). Pro získání prvního snímku a druhého snímku je použit svazek elektronů, pro jehož naklánění (posun pivot pointu v rovině kolmé na optickou osu 5 tubusu zařízení se svazkem 3 nabitých částic, tj. zde tubusu rastrovacího elektronového mikroskopu) jsou jakožto rastrovací prvky 6 použity rastrovací cívky. Jako další prvek k formování a směřování částic je použita také objektivová čočka 7. </com:P>
  <com:P com:pNumber="133"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="134">Svazek 3 nabitých částic dopadající na vzorek 2 v kroku získání prvního snímku a svazek 3 nabitých částic dopadající na vzorek 2 v kroku získání druhého snímku leží ve společné rovině s osou 4 optimálního vycentrování objektivu zařízení se svazkem 3 nabitých částic, přičemž konkrétně je svazek 3 nabitých částic v kroku získání prvního snímku skloněný vůči ose 4 optimálního vycentrování objektivu zařízení se svazkem 3 nabitých částic o první úhel náklonu na jednu stranu a svazek 3 nabitých částic v kroku získání druhého snímku je skloněný vůči ose 4 optimálního vycentrování objektivu zařízení se svazkem 3 nabitých částic o druhý úhel náklonu na opačnou stranu. Velikost prvního úhlu náklonu je navíc stejná jako velikost druhého úhlu náklonu. V tomto konkrétním provedení je volena velikost úhlu náklonu 0,2°. </com:P>
  <com:P com:pNumber="135"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="136">K vyhodnocení prvního snímku a druhého snímku je v tomto příkladném provedení vytvořen kombinovaný snímek. Kombinovaný snímek je vyhodnocený pomocí umělé inteligence, která v kombinovaném snímku automaticky rozezná dva vzájemně posunuté obrazy špičky 1 manipulátoru a určí jejich polohu v rámci kombinovaného snímku. Následně je vypočítána poloha špičky 1 manipulátoru v rovině kolmé na optickou osu 5 tubusu zařízení se svazkem 3 nabitých částic; tedy poloha v rovině kolmé na optickou osu tubusu rastrovacího elektronového mikroskopu, neboť ten je použit pro získání prvního a druhého snímku). Konkrétně je poloha špičky 1 manipulátoru v uvedené rovině dopočítána zprůměrováním souřadnic prvního obrazu špičky 1 manipulátoru na kombinovaném snímku a druhého obrazu špičky 1 manipulátoru na kombinovaném snímku. Na základě polohy místa na vzorku 2, do kterého byl svazek 3 nabitých částic v kroku získání prvního snímku a v kroku získání druhého snímku zaostřen, je následně určena poloha špičky 1 manipulátoru v uvedené rovině vůči vzorku 2. Tato data jsou poskytnuta ovládacímu prvku manipulátoru, který ovládá pohyb manipulátoru, čímž je provedena navigace špičky 1 manipulátoru v uvedené rovině. </com:P>
  <com:P com:pNumber="137"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="138">Dále je navíc provedeno určení pozice špičky 1 manipulátoru v ose dané optickou osou 5 tubusu zařízení se svazkem 3 nabitých částic, zde optickou osou tubusu rastrovacího elektronového mikroskopu, což může být dále využito pro navigaci v této ose. Konkrétně je poloha špičky 1 manipulátoru v této ose dopočítána ze známé velikosti úhlů náklonu a z posunutí obrazu špičky 1 manipulátoru na kombinovaném snímku. Tato data jsou poskytnuta ovládacímu prvku manipulátoru, který ovládá pohyb manipulátoru. </com:P>
  <com:P com:pNumber="139"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="140"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="141">
   <com:U>Průmyslová využitelnost</com:U>
  </com:P>
  <com:P com:pNumber="142"> </com:P>
  <com:P com:pNumber="143">Výše popsaný způsob je možné použít pro nalezení špičky manipulátoru také u optických mikroskopů. </com:P>
  <pat:DrawingDescription>
   <com:P>1 − špička manipulátoru
    
    <com:Br></com:Br>2 − vzorek
    
    <com:Br></com:Br>3 − svazek nabitých částic
    
    <com:Br></com:Br>4 − osa optimálního vycentrování objektivu zařízení se svazkem nabitých částic
    
    <com:Br></com:Br>5 − optická osa tubusu zařízení se svazkem nabitých částic
    
    <com:Br></com:Br>6 − rastrovací prvek
    
    <com:Br></com:Br>7 − objektivová čočka
    
    <com:Br></com:Br>8 − stolek
   
   </com:P>
  </pat:DrawingDescription>
 </pat:Description>
 <pat:Claims xmlns:tbl="http://www.oasis-open.org/tables/exchange/1.0">
  <pat:Claim>
   <pat:ClaimNumber>1</pat:ClaimNumber>
   <pat:ClaimText>Způsob nalezení špičky (1) manipulátoru zařízení se svazkem (3) nabitých částic, 
    
    <com:B>vyznačující se tím</com:B>, že zahrnuje kroky:
    
    <com:Br></com:Br>− získání prvního snímku, přičemž první snímek je získán ozářením vzorku (2) svazkem (3) nabitých částic, který je zaostřený a nasměrovaný na oblast zájmu na vzorku (2) a který dopadá na vzorek (2) v prvním směru, přičemž při získání prvního snímku se špička (1) manipulátoru nachází v zorném poli zařízení se svazkem (3) nabitých částic a v určité vzdálenosti nad vzorkem (2),
    
    <com:Br></com:Br>− získání druhého snímku, přičemž druhý snímek je získán ozářením vzorku (2) svazkem (3) nabitých částic, který je nasměrovaný na stejnou oblast zájmu a zaostřený do stejného místa na vzorku (2) jako v kroku získání prvního snímku a který dopadá na vzorek (2) ve druhém směru odlišném od prvního směru, přičemž v kroku získání druhého snímku je poloha špičky (1) manipulátoru a vzorku (2) vůči komoře zařízení se svazkem (3) nabitých částic stejná jako v kroku získání prvního snímku, a
    
    <com:Br></com:Br>− vyhodnocení alespoň prvního snímku a druhého snímku, přičemž na základě vyhodnocení alespoň prvního snímku a druhého snímku je určena poloha špičky (1) manipulátoru v rovině kolmé na optickou osu (5) tubusu zařízení se svazkem (3) nabitých částic jakožto poloha objektu, který je na jednotlivých snímcích nejvíce posunutý.
   
   </pat:ClaimText>
  </pat:Claim>
  <pat:Claim>
   <pat:ClaimNumber>2</pat:ClaimNumber>
   <pat:ClaimText>Způsob podle nároku 1, 
    
    <com:B>vyznačující se tím</com:B>, že krok vyhodnocení alespoň prvního snímku a alespoň druhého snímku zahrnuje krok vytvoření kombinovaného snímku, přičemž kombinovaný snímek je složený z alespoň prvního snímku a druhého snímku, které se překrývají přes sebe, přičemž poloha špičky (1) manipulátoru v rovině kolmé na optickou osu (5) tubusu zařízení se svazkem (3) nabitých částic je určena jakožto poloha objektu, který je na kombinovaném snímku nejvíce posunutý.
   
   </pat:ClaimText>
  </pat:Claim>
  <pat:Claim>
   <pat:ClaimNumber>3</pat:ClaimNumber>
   <pat:ClaimText>Způsob podle nároku kteréhokoliv z předcházejících nároků, 
    
    <com:B>vyznačující se tím</com:B>, že svazek (3) nabitých částic dopadající na vzorek (2) v kroku získání prvního snímku v prvním směru je skloněný vůči ose (4) optimálního vycentrování objektivu zařízení se svazkem (3) nabitých částic o první úhel náklonu nebo svazek (3) nabitých částic dopadající na vzorek (2) v kroku získání druhého snímku ve druhém směru je skloněný vůči ose (4) optimálního vycentrování objektivu zařízení se svazkem (3) nabitých částic o druhý úhel náklonu.
   
   </pat:ClaimText>
  </pat:Claim>
  <pat:Claim>
   <pat:ClaimNumber>4</pat:ClaimNumber>
   <pat:ClaimText>Způsob podle nároku 3, 
    
    <com:B>vyznačující se tím</com:B>, že svazek (3) nabitých částic dopadající na vzorek (2) v kroku získání prvního snímku v prvním směru a svazek (3) nabitých částic dopadající na vzorek (2) v kroku získání druhého snímku ve druhém směru leží v jedné společné rovině, přičemž v této společné rovině leží také osa (4) optimálního vycentrování objektivu zařízení se svazkem (3) nabitých částic.
   
   </pat:ClaimText>
  </pat:Claim>
  <pat:Claim>
   <pat:ClaimNumber>5</pat:ClaimNumber>
   <pat:ClaimText>Způsob podle nároku 4, 
    
    <com:B>vyznačující se tím</com:B>, že svazek (3) nabitých částic dopadající na vzorek (2) v kroku získání prvního snímku v prvním směru je skloněný vůči ose (4) optimálního vycentrování objektivu zařízení se svazkem (3) nabitých částic o první úhel náklonu na jednu stranu a svazek (3) nabitých částic dopadající na vzorek (2) v kroku získání druhého snímku ve druhém směru je skloněný vůči ose (4) optimálního vycentrování objektivu zařízení se svazkem (3) nabitých částic o druhý úhel náklonu na opačnou stranu.
   
   </pat:ClaimText>
  </pat:Claim>
  <pat:Claim>
   <pat:ClaimNumber>6</pat:ClaimNumber>
   <pat:ClaimText>Způsob podle kteréhokoliv z předcházejících nároků 3 až 5, 
    
    <com:B>vyznačující se tím</com:B>, že první úhel náklonu vůči ose (4) optimálního vycentrování objektivu zařízení se svazkem (3) nabitých částic má stejnou velikost jako druhý úhel náklonu vůči ose (4) optimálního vycentrování objektivu zařízení se svazkem (3) nabitých částic.
   
   </pat:ClaimText>
  </pat:Claim>
  <pat:Claim>
   <pat:ClaimNumber>7</pat:ClaimNumber>
   <pat:ClaimText>Způsob podle kteréhokoliv z předcházejících nároků 3 až 6, 
    
    <com:B>vyznačující se tím</com:B>, že alespoň jeden z prvního úhlu náklonu vůči ose (4) optimálního vycentrování objektivu zařízení se svazkem (3) nabitých částic a druhého úhlu náklonu vůči ose (4) optimálního vycentrování objektivu zařízení se svazkem (3) nabitých částic má velikost z rozsahu 0,05° až 5°.
   
   </pat:ClaimText>
  </pat:Claim>
  <pat:Claim>
   <pat:ClaimNumber>8</pat:ClaimNumber>
   <pat:ClaimText>Způsob podle kteréhokoliv z předcházejících nároků, 
    
    <com:B>vyznačující se tím</com:B>, že na základě polohy místa na vzorku (2), do něhož je zaostřen svazek (3) nabitých částic v kroku získání prvního snímku a v kroku získání druhého snímku, je určena poloha špičky (1) manipulátoru vůči vzorku (2) v rovině kolmé na optickou osu (5) tubusu zařízení se svazkem (3) nabitých částic.
   
   </pat:ClaimText>
  </pat:Claim>
  <pat:Claim>
   <pat:ClaimNumber>9</pat:ClaimNumber>
   <pat:ClaimText>Způsob podle kteréhokoliv z předcházejících nároků, 
    
    <com:B>vyznačující se tím</com:B>, že na základě polohy místa na vzorku (2), do něhož je zaostřen svazek (3) nabitých částic v kroku získání prvního snímku a v kroku získání druhého snímku, je určena poloha špičky (1) manipulátoru vůči vzorku (2) v ose dané optickou osou (5) tubusu zařízení se svazkem (3) nabitých částic.
   
   </pat:ClaimText>
  </pat:Claim>
 </pat:Claims>
 <pat:Abstract xmlns:tbl="http://www.oasis-open.org/tables/exchange/1.0" com:id="abs-1" com:languageCode="cs">
  <com:P com:pNumber="1">Předmětem vynálezu je způsob nalezení špičky (1) manipulátoru zařízení se svazkem (3) nabitých částic využívající získání dvou snímků s různými směry dopadu svazku (3) nabitých částic na vzorek (2). Špička (1) manipulátoru nacházející se v určité vzdálenosti nad vzorkem (2) se při vyhodnocení těchto snímků jeví jakožto objekt, který je na jednotlivých snímcích nejvíce posunutý.</com:P>
 </pat:Abstract>
 <pat:Drawings xmlns:tbl="http://www.oasis-open.org/tables/exchange/1.0">
  <pat:Figure>
   <pat:FigureNumber>1</pat:FigureNumber>
   <com:Image com:id="img-1" com:imageContentCategory="Drawing" com:orientationCategory="Landscape">
    <com:ImageFormatCategory>JPEG</com:ImageFormatCategory>
    <com:FileName>2656204img0001.jpg</com:FileName>
    <com:Alt>Obr. 1</com:Alt>
   </com:Image>
  </pat:Figure>
  <pat:Figure>
   <pat:FigureNumber>2</pat:FigureNumber>
   <com:Image com:id="img-2" com:imageContentCategory="Drawing" com:orientationCategory="Landscape">
    <com:ImageFormatCategory>JPEG</com:ImageFormatCategory>
    <com:FileName>2656204img0002.jpg</com:FileName>
    <com:Alt>Obr. 2</com:Alt>
   </com:Image>
  </pat:Figure>
  <pat:Figure>
   <pat:FigureNumber>3</pat:FigureNumber>
   <com:Image com:id="img-3" com:imageContentCategory="Drawing" com:orientationCategory="Landscape">
    <com:ImageFormatCategory>JPEG</com:ImageFormatCategory>
    <com:FileName>2656204img0003.jpg</com:FileName>
    <com:Alt>Obr. 3</com:Alt>
   </com:Image>
  </pat:Figure>
  <pat:Figure>
   <pat:FigureNumber>4</pat:FigureNumber>
   <com:Image com:id="img-4" com:imageContentCategory="Drawing" com:orientationCategory="Landscape">
    <com:ImageFormatCategory>JPEG</com:ImageFormatCategory>
    <com:FileName>2656204img0004.jpg</com:FileName>
    <com:Alt>Obr. 4a</com:Alt>
   </com:Image>
  </pat:Figure>
  <pat:Figure>
   <pat:FigureNumber>5</pat:FigureNumber>
   <com:Image com:id="img-5" com:imageContentCategory="Drawing" com:orientationCategory="Landscape">
    <com:ImageFormatCategory>JPEG</com:ImageFormatCategory>
    <com:FileName>2656204img0005.jpg</com:FileName>
    <com:Alt>Obr. 4b</com:Alt>
   </com:Image>
  </pat:Figure>
  <pat:Figure>
   <pat:FigureNumber>6</pat:FigureNumber>
   <com:Image com:id="img-6" com:imageContentCategory="Drawing" com:orientationCategory="Landscape">
    <com:ImageFormatCategory>JPEG</com:ImageFormatCategory>
    <com:FileName>2656204img0006.jpg</com:FileName>
    <com:Alt>Obr. 5</com:Alt>
   </com:Image>
  </pat:Figure>
 </pat:Drawings>
</pat:PatentPublication>